19 мая 2010 года в 13.00

в круглом зале "А" - корпуса

состоится научно-технический семинар:

"Низкотемпературная плазма: теория, диагностика, применение в промышленности"

в рамках семинара прозвучит доклад по теме:

"Исследования плазмы в США для применения в полупроводниковой промышленности"

Докладчик: Быканов А.Н., Компания "Cymer", г. Сан Диего, Калифорния

В докладе рассмотрены:

• диагностическая техника и средства измерения энергии ионов (сеточный анализатор и анализатор с осесимметричным полем),
• вакуумная и оптическая спектроскопия,
• теневая стробоскопия с высоким временным и пространственным разрешением,
• газовая масс-спектрометрия (RGA),
• результаты исследования и оптимизации плазменного фокуса (один из вариантов Z-пинча) и лазерной плазмы на металлической мишени с целью получения мощного источника мягкого рентгеновского излучения с длиной волны 13,5 нм, разрабатываемого для фотолитографии нового поколения производства схем памяти и микропроцессоров с размером полупроводниковых структур 32 нм и меньше.